Для цитирования:

Авсиевич А.М., Таратын И.А., Кириллов П.С. Влияние радиусов сопряжений элементов мембранных МЭМС-систем на собственные колебания. Системный анализ и прикладная информатика. 2022;(4):16-21. https://doi.org/10.21122/2309-4923-2022-4-16-21

For citation:

Ausiyevich A.M., Taratyn I.A., Kirylau P.S. The effect of the coupling radii of the elements of membrane MEMS systems on their own oscillations. «System analysis and applied information science». 2022;(4):16-21. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2309-4923-2022-4-16-21