.png)
.png)
Послать статью по эл. почте 
Влияние радиусов сопряжений элементов мембранных МЭМС-систем на собственные колебания
https://doi.org/10.21122/2309-4923-2022-4-16-21
Аннотация
Рассмотрены закономерности изменения частот и форм собственных колебаний и напряженного состояния кремниевого чувствительного элемента механической системы МЭМС-акселерометра в зависимости от изменения радиусов скругления конструктивных элементов. Установлено увеличение собственных частот системы и напряжений в торсионных подвесах с увеличением радиусов сопряжений подвеса с рамкой и инерционной массой. Скругление формы подвесов в плане приводит к снижению собственных частот и росту напряжений, возникающих при колебательных движениях. Подтвержден факт локализации форм колебаний высокой частоты в инерционной массе. Рекомендован комплекс конструктивных решений, позволяющих управлять вибрационным состоянием механической системы МЭМСакселерометра.
Об авторах
А. М. АвсиевичБеларусь
Авсиевич Андрей Михайлович, кандидат технических наук. Декан факультета «Информационных технологий и робототехники»
И. А. Таратын
Беларусь
Таратын Игорь Александрович, кандидат технических наук, доцент кафедры «Микро- и нанотехника»
П. С. Кириллов
Беларусь
Кириллов Павел Сергеевич, магистрант кафедры «Программное обеспечение информационных систем и технологий», инженер научно-исследовательской лаборатории Механики материалов и динамики технических систем
Список литературы
1. Авсиевич, А.М. Влияние геометрии кремниевого чувствительного элемента МЭМС на собственные колебания. А.М. Авсиевич, И.А. Таратын, А.Ф. Смалюк, П.С. Кириллов // Математические методы в технологиях и технике. Научный журнал, №11, - СПб.: ООО «Сарлен-Алекс», 2021. – С. 71– 75.
2. Гуртов В. А., Беляев М. А., Бакшеева А.Г. Микроэлектромеханические системы: Учеб. пособие. – Петрозаводск: Из-во ПетрГУ, 2016. – 171 с.
3. H. Lan, Y. Ding and H. Liu, Nanoimprint Lithography: Principles, Processes and Materials, Nova Science Publishing, 2011, pp. 73.
4. Sze S. M. Physics of Semiconductor Device. Third Edition / S. M. Sze, K. Ng Kwok, John Wiley & Sons, Inc., New Jersey, 2007. – 825 p.
5. Пауткин, В.Е. Формообразование элементов МЭМС / Датчики и системы. №8. 2018. – С. 56 – 61.
6. Вибрации в технике: Справочник в 6-и т. / Ред. совет: В.Е. Челомей (пред.). М.: Машиностроение. 1978. Т.1. – 352 c.
7. Стрент Г., Фикс Дж. Теория метода конечных элементов. М.: Мир. 1977. – 352 с.
8. Hartmann F., Katz C. Structural analysis with finite elements. Springer. 2007. – 604 p.
9. Распопов, В.Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие. 2-е изд., перераб и доп. Тул. гос.университет, Московский гос. технологический ун-т им. К.Э. Циолковского. Тула: Гриф и К. 2004. – 476 с.
10. Феодосьев, В.И. Сопротивление материалов: Учеб. для вузов. - 10-е издание, перераб. и доп. - М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э.Баумана, 1999. – 592 с.
Дополнительные файлы
Для цитирования: Авсиевич А.М., Таратын И.А., Кириллов П.С. Влияние радиусов сопряжений элементов мембранных МЭМС-систем на собственные колебания. «Системный анализ и прикладная информатика». 2022;(4):16-21. https://doi.org/10.21122/2309-4923-2022-4-16-21
For citation: Ausiyevich A.M., Taratyn I.A., Kirylau P.S. The effect of the coupling radii of the elements of membrane MEMS systems on their own oscillations. «System analysis and applied information science». 2022;(4):16-21. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2309-4923-2022-4-16-21
Обратные ссылки
- Обратные ссылки не определены.
